【乙先小教學之高真空幫浦介紹】
細分成冷凍幫浦(Cryo pump)、油擴散幫浦(Diffusion pump)、
渦輪分子幫浦(Turbo pump)、離子幫浦(Ion pump)，依各種不同
的環境及壓力範圍而使用，只要使用對的高真空幫浦，其效能及
幫浦壽命都將可大大提升。
【渦輪分子幫浦(Turbo pump)】
優點：適合於各式製程系統
缺點：排氣量小、單價高
【冷凍幫浦(Cryo pump)】
優點：排氣量大，重量輕
缺點：只可使用較乾淨的製程系統，無法關機，需長時間運轉
【油擴散幫浦(Diffusion pump)】
優點：單價低、排氣量大、無耗材
缺點：冷卻水使用量大，終極壓力不高，油氣污染
【離子幫浦(Ion pump)】
優點：適合於清潔真空系統、耗電少、無聲
缺點：不適合有惰性氣體與大量氣體的系統
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