今天就讓乙先小編跟大家分享
幫浦與設備是緊緊相扣的，使用好品質的油品
不但可以使製程過程抽真空的效率維持在良好狀態
也可以使您"貴森森"的幫浦延年益壽喔!!
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四月份到越南交機總算告一段落了
跟大家分享一下潔淨室隔間事前照片與事後照片
您說，是不是差很多，整個就是專業
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透過大家的努力與犧牲假日的休息時間
順利在4/17啟動試機了
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歷經十天的海上之旅
終於順利抵達目的地Vietnam
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最近忙的案子，與大家分享囉
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三靶源射頻濺鍍系統-1
 
【乙先小教學之射頻濺鍍機 RF sputter】-- 圖中為三靶源射頻濺鍍系統
 
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【乙先小教學之真空幫浦油】
真空幫浦的壓力取決於油的飽和蒸氣壓。因此對於真空幫浦油的選擇也是非常
重要的。一般性抽氣幫浦與高腐蝕性抽氣幫浦所使用的真空幫浦油也有所不
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太陽能薄膜系統-2
   
儀器介紹:太陽能薄膜系統
訂購客戶:台南XX大學
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【乙先小教學之高真空幫浦介紹】
   細分成冷凍幫浦(Cryo pump)、油擴散幫浦(Diffusion pump)、


渦輪分子幫浦(Turbo pump)、離子幫浦(Ion pump)，依各種不同


的環境及壓力範圍而使用，只要使用對的高真空幫浦，其效能及


幫浦壽命都將可大大提升。


 


【渦輪分子幫浦(Turbo pump)】
   優點：適合於各式製程系統
   缺點：排氣量小、單價高


 


【冷凍幫浦(Cryo pump)】



   優點：排氣量大，重量輕
   缺點：只可使用較乾淨的製程系統，無法關機，需長時間運轉


 


【油擴散幫浦(Diffusion pump)】
   優點：單價低、排氣量大、無耗材
   缺點：冷卻水使用量大，終極壓力不高，油氣污染


 


【離子幫浦(Ion pump)】
   優點：適合於清潔真空系統、耗電少、無聲
   缺點：不適合有惰性氣體與大量氣體的系統




 
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反應式離子蝕刻設備
   
桌上型反應式離子蝕刻設備
【設備介紹】
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中原六組蒸鍍機+手套箱-1    
 
OLED熱蒸鍍系統
【系統規格】
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132548-1
 
 
產品名稱：四吋濺鍍機
訂購客戶:高雄XX大學
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