今天就讓乙先小編跟大家分享
幫浦與設備是緊緊相扣的,使用好品質的油品
不但可以使製程過程抽真空的效率維持在良好狀態
也可以使您"貴森森"的幫浦延年益壽喔!!
幫浦與設備是緊緊相扣的,使用好品質的油品
不但可以使製程過程抽真空的效率維持在良好狀態
也可以使您"貴森森"的幫浦延年益壽喔!!




【乙先小教學之高真空幫浦介紹】
細分成冷凍幫浦(Cryo pump)、油擴散幫浦(Diffusion pump)、
渦輪分子幫浦(Turbo pump)、離子幫浦(Ion pump),依各種不同
的環境及壓力範圍而使用,只要使用對的高真空幫浦,其效能及
幫浦壽命都將可大大提升。
【渦輪分子幫浦(Turbo pump)】
優點:適合於各式製程系統
缺點:排氣量小、單價高
【冷凍幫浦(Cryo pump)】
優點:排氣量大,重量輕
缺點:只可使用較乾淨的製程系統,無法關機,需長時間運轉
【油擴散幫浦(Diffusion pump)】
優點:單價低、排氣量大、無耗材
缺點:冷卻水使用量大,終極壓力不高,油氣污染
【離子幫浦(Ion pump)】
優點:適合於清潔真空系統、耗電少、無聲
缺點:不適合有惰性氣體與大量氣體的系統
