ishien vacuum 部落格

今天就讓乙先小編跟大家分享

幫浦與設備是緊緊相扣的，使用好品質的油品

不但可以使製程過程抽真空的效率維持在良好狀態

也可以使您"貴森森"的幫浦延年益壽喔!!

如何簡易維護真空幫浦

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四月份到越南交機總算告一段落了

跟大家分享一下潔淨室隔間事前照片與事後照片

您說，是不是差很多，整個就是專業

感謝客戶

也恭喜客戶已經可以順利運作

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透過大家的努力與犧牲假日的休息時間

順利在4/17啟動試機了

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歷經十天的海上之旅

終於順利抵達目的地Vietnam

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最近忙的案子，與大家分享囉

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【乙先小教學之射頻濺鍍機 RF sputter】-- 圖中為三靶源射頻濺鍍系統

射頻濺鍍機是一種薄膜製程儀器，適用於電機、機械、電子、光學、材料等研

究領域。射頻濺鍍機基本原理乃根據離子濺射原理，當高能粒子(通常是由電場

加速的正離子)衝擊到固體表面，固體表面的原子和分子在與這些高能粒子交換

動能後，就從固體表面飛出來，此現象稱之為「濺射」。先利用電場使兩極間

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【乙先小教學之真空幫浦油】

真空幫浦的壓力取決於油的飽和蒸氣壓。因此對於真空幫浦油的選擇也是非常

重要的。一般性抽氣幫浦與高腐蝕性抽氣幫浦所使用的真空幫浦油也有所不

同。

【真空幫浦油對於真空幫浦的幫助如下】

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儀器介紹:太陽能薄膜系統

訂購客戶:台南XX大學

【原理與功能如下】

硒化銅銦鎵(Copper Indium Gallium Diselenide，簡稱為CIGS)為薄膜太陽能

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【乙先小教學之高真空幫浦介紹】
   細分成冷凍幫浦(Cryo pump)、油擴散幫浦(Diffusion pump)、

渦輪分子幫浦(Turbo pump)、離子幫浦(Ion pump)，依各種不同

的環境及壓力範圍而使用，只要使用對的高真空幫浦，其效能及

幫浦壽命都將可大大提升。

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桌上型反應式離子蝕刻設備

【設備介紹】

samco RIE 對於空間有限的實驗室來說是最理想的設備。這台高性能的設

備可達到蝕刻效率、均勻度和選擇比最佳化並特別適合用於失效分析中鈍

化材料的清除。

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OLED熱蒸鍍系統

【系統規格】

型號

HPVD-300~600

腔體

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產品名稱：四吋濺鍍機

訂購客戶:高雄XX大學

【產品介紹】

本濺鍍機備有單支四吋gun，適用靶材於任何導電材料。

可容納四吋晶圓的轉盤以及加熱器，基座可導入RF&DC電漿

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