OLED熱蒸鍍系統
【系統規格】
|
型號 |
HPVD-300~600 |
|
腔體 |
ψ300~600mm |
|
抽氣幫浦 |
Cryo / Turbo |
|
最低壓力 |
< 10-7 Torr |
|
抽氣效能 |
8 x 10-6 Torr < 40Min |
|
蒸鍍源 |
1~11 Source With Shield |
|
基板加熱旋轉 |
Heter 500℃ Rotator 60 RPM |
|
操作方式 |
Auto / Manual |
【技術特色】
各種蒸鍍材料皆可使用，可安裝各型式蒸鍍源(鎢絲&鎢舟&電子槍)
可依客戶需求量身訂製設計蒸鍍源數量(1~11組)。
一次最多可同時蒸鍍四種材料進行製程。
高溫爐 (1)
